化學過濾網
借由串珠狀活性碳之三次元纖維構造，可以減低壓力損失并高效率去除氣體，得以更進一步實現LSI之超微細加工所需要的清凈化。
內容
選用化學濾網(Chemical Filter)
改善被污染分子的無塵室
長期性能確認試驗數據介紹
GIGASORB規格
外型尺寸 590x1080x100mm
GIGASORB 220mm x 3層
(A,L,C各一層)
接觸時間 0.037秒 X 3
(0.11秒)
外框 鋁材
ULPA規格
外型尺寸 610x1220x85mm
效率 >99.9995%
濾材 硼矽酸鹽玻璃纖維
型式 迷你折疊標準品
檢查 用Clean Silica粒子掃瞄
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