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昭信:以技術為支撐 推進MOCVD設備國產化

放大字體  縮小字體 發布日期:2014-10-10     來源:[標簽:出處]     作者:[標簽:作者]     瀏覽次數:152
核心提示:
網訊 他身為華中科技大學機械科學與工程學院的教授,在半導體工藝設備設計與制造等方面造詣頗深;他自認為是MOCVD設備行業的“后來者”,卻帶領研發團隊早已展開了創新研發之路,并擁有了多項MOCVD核心專*;他是國產MOCVD設備產業化的推動者,率領企業將國產MOCVD設備成功交付企業使用......他就是廣東昭信半導體裝備制造有限公司(以下簡稱“昭信”)的總經理甘志銀先生,將與大家分享了他在MOCVD設備國產化過程中摸索出的很多值得業界借鑒的經驗。

設備,實際上,包括我在內的整個研發團隊都是來自于華中科技大學。

企業就很困難。

前景很好,但是市場需要一步步推進,成本需要一步步消化。包括MOCVD設備在內,2010-2011年一下從300多臺增長到700多臺,增長速度過快導致目前產業發展的困局。另外,LED應用也在不斷地推動這個產業往前進,并在推的過程中由于企業太多,魚目混雜,大家會考慮LED產品是不是好產品。

  尤其MOCVD設備企業,風險很大的一塊就是技術的跟風性。從2005年國外30片機,2007年50片機、55片機,然后又到69片機,企業疲于奔命不斷的跟風。由于企業不斷煩的跟風就造成兩個不平等,一個是政府的補貼造成企業之間的不平等,一個是市場的設備更新造成了企業發展的不平等。后來投資者用同樣的錢甚至用更少的錢買了更大的產能,造成行業里看起來買了很多臺設備,但是很多臺設備都是2007年、 2009年以前淘汰的廢品。對于MOCVD設備來說,國內MOCVD設備從統計數字看好象過剩,實際上不是過剩,只是大家都在思考LED整個產業到底應該怎么走,現在還沒有形成對它強烈的市場需求,這也正是我們所面臨的發展困局。

  記者:您可以說是技術出身,您客觀地評價一下目前國產MOCVD設備的技術水平到底到達了什么地步?

  甘志銀:我們從2009年做MOCVD,當時做生產研模只有一家,到2010年、2011年做MOCVD的非常多,我只能評價我自己。通過這幾年發展,我們發展MOCVD的技術跟國外沒有什么差別,我們所開發出來的MOCVD技術不比他們差,甚至很多方面還比他們強。我們的設備實際上在很多情況下表現的比國外設備好,包括設備在生產線使用的情況,也是呈現這樣一個現實。現在企業對國產設備認知的存在心里誤區,尤其在學術群體當中MOCVD設備是個皇冠,覺得國內企業不太可能做好。其實企業存在疑慮很正常,隨著我們企業在市場上投放更多MOCVD設備樣板工程,這個疑慮會逐漸打消。

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